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扫描电镜（EVO18）

Scanning  Electron  Microscope（SEM）

加速电压/Accelerating voltage：0.2-30KV

二次电子像分辨率/secondary  electron  image  resolution：3.0nm

背散射电子像分辨率/Back-Scattered  electron  image  resolution：4.0nm

放大倍数/Magnification：5-100000X